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TANISS刻蚀ESC静电吸盘替代SEMCO静电吸盘半导体E-CHUCK

TANISS刻蚀ESC静电吸盘替代SEMCO静电吸盘半导体E-CHUCK

性能： 4寸刻蚀ESC静电吸盘-滤波器使用温度：-50℃~+50℃之间长期使用温度：0-10℃ 电压±1000V 漏电流±2500V @ ≤2mA

详细介绍

性能：

4寸刻蚀ESC静电吸盘-滤波器

使用温度：-50℃~+50℃之间

长期使用温度：0-10℃

电压±1000V

漏电流±2500V @ ≤2mA

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